Lavtrykk Plasma Generator
Mar 30, 2018

En lavtrykksgassutladningsanordning består vanligvis av tre deler: en strømforsyning, et utladningskammer, et vakuumsystem og et arbeidsgass (eller reaksjonsgass) forsyningssystem for fremstilling av plasma. Det er vanligvis fire kategorier: statisk utladningsanordninger (fig. 5), høyspenningskoronautladningsanordninger (Fig 5 B), høyfrekvente (RF) utladningsenheter (3 typer, fig. 5 c) og mikrobølgeavladningsanordninger (fig. 5 d). Den behandlede faste overflate eller substratoverflaten som krever det polymere filmlag er plassert i utslippsmiljøet og behandlet av plasma. Fordi lavtryksplasmaet er et kaldt plasma, når lufttrykket er ca 133 ~ 13,3, er elektrontemperaturen opptil 10000, og gash temperaturen er bare 300 åpen, som ikke brenner underlaget og har nok energi til overflaten behandling. Lavtrykksplasma-generatorer brukes i stor grad i plasmapolymerisasjon, fremstilling av filmer, etsning, rengjøring og andre overflatebehandlingsprosesser. Eksempler på suksess som: i halvlederfremstillingsprosessen, bruk av fluor-Lyon plasma-tørrkorrosjon, ionplating på metalloverflaten av dannelsen av titanitridfilm. Siden 70-tallet har lavtryksplasma utviklet seg raskt for overflatebehandling og modifisering av ikke-metalliske faste stoffer som glass, tekstiler, plast, etc.


Relaterte nyheter

Copyright © Kunshan Plaux Electronics Technology Co, Ltd Alle rettigheter reservert.